
【导语】 如果说上半年的关键词还是"验证",7月给出的则是"兑现"。HBM4 由样品规格转为完成全部质量认证的最终规格并进入产能爬坡;SEMI 在年中预测中将 2026 年全球半导体设备销售额上修至 1659 亿美元的历史新高;国产薄膜沉积设备则在下游扩产与资本化提速的双重推动下,迎来一段订单可见度较高的窗口期。三条线索指向同一个产业事实:AI 算力对带宽与集成密度的需求,正沿着封装、沉积、量测逐层向上游传导,而薄膜工艺的精度与稳定性依旧是这条链路上最难跨越的门槛之一。以下为 7 月行业核心动态梳理。
一、HBM4 进入量产爬坡:AI 存储牵引封装与沉积工序升级
- 7月中旬,据多方报道,SK海力士已正式启动面向英伟达的 12 层 HBM4 量产出货并进入产能爬坡。与此前归类为样品的供货不同,这是 HBM4 首次以完成全部质量认证的最终规格进入市场,对应英伟达下一代 Vera Rubin 平台;单条容量 36GB、峰值带宽超过 2.8TB/s。行业标准封装厚度也从 HBM3E 时代的 720 微米放宽至 775 微米,以适配 12 层堆叠结构。
- 7月21日,据环球市场播报报道,三星、SK海力士、美光三家同步推进 HBM4 良率攻坚。三星最先实现 HBM4 量产,业内部分观点认为其良率已提升至 70% 左右,依托的是年初已突破 80% 稳定量产门槛的 1C 工艺 DRAM 基础。
- 7月29日,SK海力士发布二季度财报并召开电话会:HBM4 已于二季度启动面向主要客户的量产出货,良率与质量"已接近处于成熟阶段的 HBM3E 水平",下半年将全面提升产量;HBM4E 预计自 2027 年起量产;公司已与约 10 家客户完成长期供货协议(LTA)谈判,合同期限通常约 5 年,并含保证金等机制。同时管理层表示,从与客户的实际沟通看,主要云服务厂商的 AI 投资并未明显放缓。
堆叠层数与键合工艺的每一次前移,都会等比放大薄膜工序的数量与难度。SK海力士本轮 HBM4 仍采用传统热压键合,原计划应用的混合键合推迟至 16 层堆叠的 HBM4E 版本落地——这一节奏本身就说明,高层数堆叠的瓶颈已从设计端转移到制程端:更薄的晶圆、更严的翘曲控制、更均匀的介质与金属层沉积,构成了 HBM 良率曲线的实际约束。
二、SEMI 年中预测:全球设备市场上修至 1659 亿美元,Q2 出货创同期新高
- 美国加州时间 7月14日,SEMI 发布《年中总半导体设备市场预测报告》,预测 2026 年全球半导体制造设备(OEM)总销售额将达 1659 亿美元、同比增长 23.2%,并有望在 2028 年升至 2295 亿美元,实现连续五年增长。其中晶圆厂设备(WFE)2026 年预计增长 23.1% 至 1439 亿美元,较 2025 年末预测明显上调,主因是 HBM 相关 DRAM 技术与前沿逻辑投资增强;DRAM 设备销售额预计增长 39.0% 至 388 亿美元;后端测试设备增长 31.0% 至 153 亿美元,组装及封装设备增长 9.6% 至 67 亿美元。
- 7月15日,SEMI 发布的季度统计显示,2026 年二季度全球半导体设备销售额为 330.7 亿美元,同比增长 24%、环比增长 3%,上半年合计超过 650 亿美元。分地区看,中国大陆以 113.6 亿美元 继续居首但同比下降 7%;中国台湾以 87.7 亿美元、同比增长 125% 升至第二;韩国 59.1 亿美元、同比增长 31% 位列第三。
值得注意的是结构性分化:总量创高的同时,中国大陆季度采购额同比回落,而中国台湾因先进逻辑扩产大幅跃升。这提示行业景气度并非均匀分布,而是集中在 AI 相关的先进逻辑与先进存储产能上;对上游零部件与耗材供应商而言,订单结构的迁移往往先于总量变化出现。
三、国产薄膜沉积设备的订单窗口:长鑫上市扩产、盛吉盛启动辅导、迈为上修指引
- 7月27日,长鑫科技登陆科创板,发行价 8.66 元/股,募集资金总额约 579.19 亿元(若超额配售选择权全额行使约 666.07 亿元),刷新科创板 IPO 募资纪录;首日总市值超 3.2 万亿元。据招股书,公司在合肥、北京拥有 3 座 12 英寸 DRAM 晶圆厂,2025 年末月产能已达 30 万片,2026 年二季度已启动设备招投标,全年计划扩产 5 万至 6 万片,年底月产能目标 40 万片;募投方向覆盖 12 英寸 DRAM 产线升级改造、HBM 与车规存储技术升级、下一代存储前瞻技术研发。据媒体对其募投项目构成的梳理,设备购置及安装费约 220.66 亿元,占比接近七成半,且以存量产线技术升级为主,刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP 为主要采购方向。
- 7月29日,证监会 IPO 辅导公示系统显示,由中芯国际牵头设立的盛吉盛半导体向宁波证监局提交辅导备案。该公司专注 12 英寸薄膜沉积与快速热处理设备,官方披露其 12 英寸 ZARVIS-PECVD、XPEED-HDPCVD、XPEED-IDP 等核心产品累计交付超 120 台腔体,PECVD 产品已完成超 1000 万片客户产品 wafer;此前不足一月刚完成超 10 亿元 D 轮融资。
- 7月,迈为股份将 2026 年半导体前道设备新签订单指引由 16–20 亿元上修至 20–25 亿元(据券商研报),其前道布局覆盖高选择比刻蚀、ICP 刻蚀、PVD、ALD、CVD 等核心工艺。
三则消息落在同一逻辑上:下游扩产的确定性正在转化为国产沉积设备的订单可见度。同期公开招标信息亦可佐证这一趋势——7月27日,上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目"等离子增强含氟二氧化硅氮化硅薄膜化学沉积设备"中标结果公示,中标人与制造商均为境内企业。设备国产化率提升的下一道考题,通常出现在长周期量产的一致性与稳定性上,而这恰恰高度依赖工艺过程的在线监控能力。
四、TGV 玻璃基板续篇:从"送样验证"转入"设备付费"
本栏目 6 月曾梳理国产厂商在 TGV 玻璃通孔设备领域的集体突破。7 月的新变化不在于参与者数量,而在于采购性质的转变——从研发预算走向量产预算。
- 7月19日,捷佳伟创披露自研 TGV 单片清洗装备取得国内 TGV 头部企业量产订单。该设备针对成孔后孔内微粒与有机物残留这一关键良率环节,公司称对 1 微米以上颗粒去除率超过 99%、可适配 80 微米超薄玻璃(参数来自公司披露,仍待持续交付与客户端量产数据验证)。7月9日,帝尔激光在业绩说明会上披露,其面板级玻璃基板通孔设备已完成出货,2026 年实现海外销售并获得小批量复购订单。
- 与设备端的订单落地形成对照的是载板端的谨慎表述:7月7日,京东方在投资者调研中表示已实现高深宽比 TGV 开孔、深孔填铜、低应力金属布线、高层数压合等玻璃基封装载板全流程工艺拉通,2025 年完成大尺寸高层数(9-2-9,20 层)样品开发送样,部分客户已通过概念认证进入技术测试,但同时明确该业务尚未实现批量生产与量产营收。
- 7月24日,蓝思科技宣布与英特尔签署合作备忘录,围绕玻璃基板穿孔成型、高精度激光加工、通孔金属化沉积及多层互连布线展开合作,英特尔提供说明性架构信息、可制造性设计(DFM)指南与标准化验证体系。
玻璃基板需要经过成孔、清洗、种子层沉积、填铜、电镀、CMP、重布线与检测等多道工序,任一环节良率不足都会让整线停摆。清洗设备进入量产订单、激光设备出现复购,说明国产链条正在补齐"成孔之后、填铜之前"的中间拼图;而载板厂对"尚未量产"的明确表述,也提示这条产业化曲线仍处在爬坡段。就镀膜环节而言,高深宽比通孔的种子层沉积均匀性依旧是核心难点——孔壁厚度的纳米级偏差会直接放大为互连电阻与良率波动。
五、真空镀膜装备与 QCM 表征:精度竞赛向产业与科研两端延伸
- 7月10日,据中国江苏网报道,落户盐城盐南高新区的智芯达真空设备(江苏)有限公司自研国产首套硅基 IZO 低温低损伤磁控溅射设备完成整机调试验收并交付下游硅基 Micro OLED 头部产线。该设备将镀膜基底温度稳定控制在 40℃–60℃,配合特殊对靶结构,膜层均匀性误差控制在 ±2% 以内、厚度精度达纳米级,交付周期约四个月(海外同规格设备常规交付周期普遍在十个月以上)。企业同步布局大尺寸 TCO 低温低损伤镀膜设备与面向半导体芯片电磁屏蔽的镀膜设备。
- 7月12日至15日,中国材料大会 2026 暨第 27 届中国国际新材料博览会在武汉国际博览中心举办,设 125 个专业分论坛、约 2 万㎡ 展区,覆盖光电薄膜、原子制造、半导体等方向,多家国内厂商现场展出磁控溅射镀膜系统与精密沉积设备,国产真空薄膜装备与高校科研需求的对接密度明显提升。
- 在表征侧,石英晶体微天平(QCM)的应用边界继续外扩。7月17日,瑞典百欧林科技联合南方科技大学举办的 QSense 电化学耗散型石英晶体微天平(EQCM-D)技术讲座与应用培训在深圳结束,内容聚焦 SEI/CEI 界面膜、离子嵌脱、电催化剂动态重构等原位表征场景。学术层面,电子科技大学团队发表于 Analytical Chemistry 的研究指出,圆形对称电极 QCM 在第三泛音模式下的中心质量灵敏度接近基频的五倍,高于经典理论预测的三倍,其机理来自更强的能量捕获效应。
两条线索方向不同却互为印证:产业端的镀膜装备在比拼"更低温度、更均匀、更快交付",科研端的 QCM 技术在比拼"更高灵敏度、更多维信息"。二者共同的技术基座,都是石英晶体的压电谐振特性——无论是产线上的沉积速率与厚度实时监控,还是实验室里的纳克级质量与粘弹性解析,膜厚监控与微质量传感正在被推向同一个更高的精度区间。
(本文为行业动态栏目月度综述,数据来源:SEMI 官方发布、公司公告与投资者关系披露、上海证券报 / 证券时报 / 财联社 / 科创板日报 / 中国江苏网等公开报道,以及 Analytical Chemistry 期刊公开论文。文中数据与表述均引自公开信息,不构成任何投资建议,供业内交流参考。)
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